EN 62047-12-2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC62047-12-2011).德文版本EN62047-12-2011

作者:标准资料网时间:2024-05-16 06:06:29 浏览:8918 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part12:BendingfatiguetestingmethodofthinfilmmaterialsusingresonantvibrationofMEMSstructures(IEC62047-12:2011);GermanversionEN62047-12:2011
【原文标准名称】:半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC62047-12-2011).德文版本EN62047-12-2011
【标准号】:EN62047-12-2011
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2012-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:抗弯强度;定义(术语);电气工程;疲劳;疲劳极限;材料;微电子学;微系统工艺;共振;试样;半导体器件;系统工程;试验;测试装置;试验体系;薄膜工艺
【英文主题词】:Bendingstrength;Definitions;Electricalengineering;Fatigue;Fatiguelimit;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Resonance;Samples;Semiconductordevices;Systemengineering;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:31P;A4
【正文语种】:英语

下载地址: 点击此处下载

返回跳至顶部

上一篇: EN 62496-2-1-2011 光学电路板.第2-1部分:测量.光纤衰减和隔离(IEC62496-2-1-2011).德文版本EN62496-2-1-2011
下一篇: EN 50443-2011 由高压交流电牵引系统和/或高压交流电供电系统引起的管线电磁干扰效应.德文版本EN50443-2011